DIN 32564-3-2004 微系统用制造设备.术语和定义.第3部分:搬运、储存和运输

作者:标准资料网 时间:2024-05-29 19:47:58  浏览:9053   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Productionequipmentformicro-systems-Termsanddefinitions-Part3:Handling,storageandtransport
【原文标准名称】:微系统用制造设备.术语和定义.第3部分:搬运、储存和运输
【标准号】:DIN32564-3-2004
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2004-05
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:加工工程;制造用设备;运输;设备工程;储存;标准化;术语;加工设备;精密机械;搬运;设备结构;定义;半导体工程;制造;微技术;工件
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:N04
【国际标准分类号】:39_020;01_040_39
【页数】:5P;A4
【正文语种】:德语